半导体紫外线固化机
在半导体工业中,紫外线固化机通常对晶圆进行曝光。该半导体紫外线固化机至少包括一个用于承载晶圆的曝光透镜和一个液体循环装置,其中液体循环装置在曝光期间在曝光透镜和晶圆之间供应液体。其特征在于,半导体UVLED在曝光前,使用至少一个对准光源将UVLED对准所述载体,其中,对准光源具有特定的波长,以便在对准时对对准光源的影响**小。液体蒸发以防止液体影响所述对准操作。
原理和特点
半导体紫外线固化机的原理和特点。
1. 当半导体紫外线曝光机的LED达到一定亮度时,可以省电节能,降低成本。消耗的能量只有15瓦左右,而达到同样亮度的常规灯管要消耗1500瓦的能量,即使与紫外卤素灯相比也能节约80%的能量。
2. UV固化机的光不是红外线加热的,而且发出的热量很低,所以不影响易受热变形的介质(如泡沫板、铝箔、PVC)的传输等。这使得介质的应用范围更广。
3. 响应时间快,不需要对UV固化机进行预热,打开后能立即打印,从而提高了生产率。
4. 高安全性和稳定性。
UV喷墨印刷机的印刷质量与UV干燥和固化过程密切相关。半导体UV固化机的稳定性使得输出能量可预测和稳定,因此印刷效果也可预测和稳定。
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